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探測(cè)器光譜響應(yīng)度測(cè)量系統(tǒng)-DSR100
一. 探測(cè)器光譜響應(yīng)度測(cè)量系統(tǒng)的簡(jiǎn)介
光電探測(cè)器是利用具有光電效應(yīng)的材料制成的將光輻射信號(hào)轉(zhuǎn)變成電信號(hào)的傳感器。大部分光電探測(cè)器在一定的光譜區(qū)域內(nèi)具有較強(qiáng)的光譜選擇性,所以光電探測(cè)器的光譜響應(yīng)度在不同波長(zhǎng)是不同的。因此光譜響應(yīng)度是表征光電探測(cè)器性能的一個(gè)重要參數(shù)指標(biāo)。另外,對(duì)于光電材料的科研工作,通過(guò)測(cè)量并分析光電材料的光譜響應(yīng)度數(shù)據(jù),可以進(jìn)一步得出材料本身的各項(xiàng)特性(如摻雜濃度、晶格缺陷、吸收系數(shù)、少子擴(kuò)散長(zhǎng)度等)對(duì)于光電響應(yīng)能力和量子效率的影響,從而對(duì)于優(yōu)選材料、改進(jìn)工藝具有指導(dǎo)性意義。
DSR100系列探測(cè)器光譜響應(yīng)度測(cè)量系統(tǒng),正是適應(yīng)不斷增長(zhǎng)的材料科學(xué)對(duì)檢測(cè)設(shè)備的需求而誕生的。它結(jié)合了北京卓立漢光儀器有限公司給多家科研單位定制的光譜響應(yīng)系統(tǒng)的特點(diǎn)和經(jīng)驗(yàn),采用國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量方法進(jìn)行測(cè)試,是光電器件、光電轉(zhuǎn)換材料科研和檢驗(yàn)的*工具。
二.DSR100系列探測(cè)器光譜響應(yīng)度測(cè)量系統(tǒng)的特點(diǎn)
◆ 寬光譜范圍(200~2500nm或1~14μm可選),適用面廣
寬光譜范圍意味著適用于各種不同樣品,如響應(yīng)在日盲區(qū)的深紫外探測(cè)器、響應(yīng)在可見(jiàn)光的太陽(yáng)能電池、響應(yīng)在近紅外的光纖傳感器、響應(yīng)在中遠(yuǎn)紅外的紅外光電傳感器,都可以在DSR100上測(cè)量光譜響應(yīng)度。
◆ 開(kāi)機(jī)即用的Turnkey系統(tǒng)設(shè)計(jì),維護(hù)簡(jiǎn)單
系統(tǒng)采用替代法的測(cè)量原理,設(shè)計(jì)成開(kāi)機(jī)即用的turnkey模式,用戶(hù)不需要在實(shí)驗(yàn)前對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行復(fù)雜的調(diào)試,日常維護(hù)也十分簡(jiǎn)單。
替代法是目前國(guó)家計(jì)量單位測(cè)量探測(cè)器光譜響應(yīng)度所采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。相比于傳統(tǒng)的測(cè)試方法,替代法既簡(jiǎn)便,準(zhǔn)確度又高,避免了許多系統(tǒng)誤差的產(chǎn)生。采用替代法,用戶(hù)只需要定期對(duì)標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器進(jìn)行定標(biāo)即可,而傳統(tǒng)方法需要定期對(duì)系統(tǒng)各個(gè)部件進(jìn)行定標(biāo),包括光源、單色儀、光路系統(tǒng)中各個(gè)光學(xué)元件等,從而導(dǎo)致用戶(hù)不得不拆分系統(tǒng),標(biāo)定好部件之后還要重新組裝調(diào)試。
◆ 調(diào)制法測(cè)量技術(shù),提升測(cè)量結(jié)果信噪比
DSR100系統(tǒng)采用調(diào)制法測(cè)量技術(shù)。調(diào)制法是目前國(guó)家計(jì)量單位采用的標(biāo)準(zhǔn)方法,通過(guò)選頻放大的技術(shù),可以大幅度抑制雜散光或環(huán)境噪聲對(duì)測(cè)量精度帶來(lái)的負(fù)面影響。DSR100系統(tǒng)針對(duì)弱信號(hào)采集專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)了*的前置放大電路,同時(shí)采用高性能的鎖相放大器進(jìn)行調(diào)制法測(cè)量。鎖相放大器測(cè)量靈敏度達(dá)到2nV,動(dòng)態(tài)范圍達(dá)到100dB。
通過(guò)提高測(cè)量靈敏度并且抑制噪聲,DSR100系統(tǒng)可以從背景噪聲中提取非常微弱的光電探測(cè)器響應(yīng)信號(hào)。
◆ 全反射光路設(shè)計(jì),優(yōu)化光斑質(zhì)量
由于各種光電探測(cè)器的光譜響應(yīng)范圍不同,因此好的探測(cè)器光譜響應(yīng)度測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)該是寬光譜范圍的,這樣才能具備較強(qiáng)的通用性。在寬光譜范圍的光學(xué)設(shè)計(jì)中,采用反射式的光路設(shè)計(jì)要比透射式得到更高品質(zhì)的光束質(zhì)量和均勻光斑。在透射式的光學(xué)系統(tǒng)中,影響光束質(zhì)量和光斑品質(zhì)的重要因素是色差,色差源自于不同波長(zhǎng)的單色光在光學(xué)材料中的折射率不同,波長(zhǎng)范圍越寬,色差越明顯。而在反射式的光學(xué)系統(tǒng)中,由于根本不涉及折射,所以不存在色差的問(wèn)題。因此采用反射式光路,成像質(zhì)量大大優(yōu)于透射式光路,從而可以得到更高均勻度的平行光斑,或者更小尺寸的匯聚光斑。
對(duì)于未來(lái)要做成陣列探測(cè)器的器件,光敏面往往非常小,特別是有些探測(cè)器還會(huì)安裝在杜瓦瓶?jī)?nèi)。要把光斑準(zhǔn)確的打在光敏面上,采用目視對(duì)準(zhǔn)的方法無(wú)法保證性,幾乎沒(méi)有重復(fù)性可言。而采用激光監(jiān)視光路,配合CCD相機(jī)進(jìn)行可視化控制,不但可以做到定位,還可以多次重復(fù)。
◆ 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量軟件,數(shù)據(jù)導(dǎo)出格式支持第三方軟件
DSR100系統(tǒng)的軟件保存所有測(cè)試 手原始數(shù)據(jù),可供實(shí)驗(yàn)人員導(dǎo)出成txt、xls等常見(jiàn)格式的文檔,以便后期分析處理。
◆ 高穩(wěn)定性光源,降低背景噪聲影響
盡管采用調(diào)制法可以降低系統(tǒng)雜散光和背景噪聲對(duì)測(cè)量的影響,但光源本身的波動(dòng)依然無(wú)法消除。因此,在采用調(diào)制法的系統(tǒng)中,光源穩(wěn)定性反而成為系統(tǒng)噪聲的主要來(lái)源。DSR100采用高穩(wěn)定性的光源來(lái)保證系統(tǒng)的高重復(fù)性。右圖是典型的光源相對(duì)強(qiáng)度的穩(wěn)定度測(cè)量數(shù)據(jù)。
◆ 全自動(dòng)測(cè)量流程
1)自動(dòng)化測(cè)量流程得到高重復(fù)性
樣品的重復(fù)定位精度很大程度上決定了測(cè)量重復(fù)性,電動(dòng)平移臺(tái)重復(fù)定位精度<10um,遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于手動(dòng)樣品定位
2)自動(dòng)化測(cè)量流程降低了操作人員的要求
按軟件文字提示即可正確操作系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量,不需要對(duì)操作人員進(jìn)行復(fù)雜的培訓(xùn),特別適合工業(yè)客戶(hù)做檢測(cè)用
3)自動(dòng)化測(cè)量流程提高時(shí)間利用率
系統(tǒng)在預(yù)設(shè)方案后即自動(dòng)運(yùn)行測(cè)量流程,可提高操作人員時(shí)間利用率
◆ 大空間樣品倉(cāng),四壁可拆卸,方便系統(tǒng)調(diào)試
特別設(shè)計(jì)的四壁方便拆卸的樣品倉(cāng),給實(shí)驗(yàn)人員足夠大的空間進(jìn)行樣品安裝和調(diào)試。同時(shí),也能容納一些特殊體積的探測(cè)器,比如液氮制冷的探測(cè)器、條紋變相管等。實(shí)驗(yàn)人員的可操作性大大增強(qiáng)。
◆ 激光監(jiān)視光路選項(xiàng),CCD圖像監(jiān)控,可對(duì)小面積的光電探測(cè)器進(jìn)行定位
產(chǎn)品規(guī)格表
項(xiàng)目 | 規(guī)格及技術(shù)指標(biāo) | ||||
型號(hào) | DSR100UV-A | DSR100UV-B | DSR100IR-A | DSR100IR-B | |
波長(zhǎng)范圍 | 200~2500nm | 1~14μm | |||
測(cè)試光斑 | 光斑模式 | 均勻平行光斑 | 匯聚光斑 | 均勻平行光斑 | 匯聚光斑 |
尺寸 | Ф2~ | Ф0.3~ | Ф2~ | Ф0.3~ | |
光源 | 光源 | 氘燈/溴鎢燈復(fù)合光源 | 溴鎢燈/碳化硅復(fù)合光源 | ||
光強(qiáng)穩(wěn)定性 | ≤0.8% | ≤2% | |||
光源切換方式 | 軟件自動(dòng)切換 | 軟件自動(dòng)切換 | |||
三光柵單色儀 | 光譜分辨率 | <0.1nm(435.8nm@ | <2.5nm (2615nm@ | ||
掃描間隔 | 小可至0.005nm | ||||
輸出波長(zhǎng)帶寬 | <5nm | <10nm | |||
多級(jí)光譜濾除裝置 | 根據(jù)波長(zhǎng)自動(dòng)選擇濾光片,消除多級(jí)光譜雜散光 | | |||
光調(diào)制頻率 | 4~400Hz | ||||
數(shù)據(jù)采集裝置靈敏度 | 鎖相放大器 2nV;直流數(shù)據(jù)采集可選 | ||||
標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 | 標(biāo)準(zhǔn)硅探測(cè)器 (標(biāo)定200~1100nm) | 標(biāo)準(zhǔn)熱釋電探測(cè)器(標(biāo)定1~ | |||
光譜響應(yīng)度測(cè)量重復(fù)性* | ≤±1.5% | ≤±5% | |||
光路中心高 | | ||||
儀器尺寸 | | ||||
控制機(jī)柜 | 標(biāo)準(zhǔn)4U控制柜,含計(jì)算機(jī) |
DSR100系列可選配附件
型 號(hào) | 說(shuō) 明 | 備 注 |
DSR-A1 | 標(biāo)準(zhǔn)硅探測(cè)器,光敏面直徑Ф | |
DSR-A2 | 標(biāo)準(zhǔn)銦鉀砷探測(cè)器,光敏面直徑Ф | |
DSR-A3 | 標(biāo)準(zhǔn)熱釋電探測(cè)器,光敏面 | |
DSR-B1 | 小型照明光源,用于樣品室內(nèi)照明 | |
DSR-B2 | 包括532nm激光器、監(jiān)視光路、監(jiān)視相機(jī)等,用于微小面積探測(cè)器光敏面對(duì)準(zhǔn) | 需配合DSR-B1使用 |
DSR-C1 | 偏壓接口附件,用于給樣品探測(cè)器外接偏置電壓, 高可承受1800V | |
DSR-C2 | 前置放大器接口附件,用于給樣品輸出信號(hào)接外置的前置放大器 | |
DSR-F1 | 簡(jiǎn)易樣品架,可調(diào)節(jié)前后,適用于小型光敏面的樣品 | 主機(jī)含簡(jiǎn)易樣品架一套 |
DSR-F2 | 三維調(diào)整樣品架,可調(diào)節(jié)前后、旋轉(zhuǎn)、升降適用于小型光敏面的樣品 | |
DSR-F3 | 杜瓦瓶固定架,適用于帶有液氮杜瓦的制冷型探測(cè)器樣品 | |
OTPOT-1512 | 高精度光學(xué)平臺(tái) | |
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